復合式三坐標測量機測頭的校驗方法：
1.確認測座安裝方向與測量機坐標軸方向一致，如果拆卸了測座，要進行找正。
2.測座固定牢靠，測頭、測針的安裝牢靠（安裝應使用工具），寶石球清潔、無破損，加長桿安裝長度與測頭或吸盤的負載能力協調。
3.標準球與臺面(或支撐）固定牢固，各連接關節緊固。球體無損傷，表面清潔。
4.軟件中測座、測頭、加長桿、測針設置正確（測桿長度輸入正確），測頭使用位置定義正確（避免使用時發現缺項，寧多無少）。標準球直徑輸入正確（必須是校準證書或合格證中的真實值），測頭校正速度設置與測量時一致。
5.單個測頭位置校正，注意觀察測量機測針直徑和標準偏差，測針直徑應與平時校正相近且重復性好，標準偏差盡量小，（測頭前加長桿長時，直徑小，偏差大）。
6.多個三坐標測頭位置校正時，除要觀察以上結果外，還要用校正后的各個測頭位置測量標準球，觀察球心坐標值的變化，數值應與示值誤差或探測誤差相近。
7.使軟件得到測量機測針寶石球的“等效直徑”，自動進行“測頭半徑的補償”。